[P01-19a-P] Ｄ：レーザープロセシング

[P01-19a-P-17] 【優秀ポスター発表賞応募演題】
エキシマレーザーアニールの追加照射による低温ポリシリコン薄膜の表面粗さの改善と電気特性評価

*濵野 史暢¹、水谷 彬²、妹川 要²、後藤 哲也³、中村 大輔¹、池上 浩^2,1 (1. 九州大学、2. 九州大学 ギガフォトンNext GLP 共同研究部門、3. 東北大学未来研)