[F05-20p-XII] 新規窒化物半導体レーザー

[F05-20p-XII-02] 【論文発表賞応募演題】
加熱加圧水によるサファイア基板からのAlGaN膜の剥離方法

*松原 衣里¹、長谷川 亮太¹、西林 到真¹、薮谷 歩武¹、山田 凌矢¹、井本 圭紀¹、近藤 涼輔¹、岩山 章^1,2、岩谷 素顕¹、竹内 哲也¹、上山 智¹、正直 花奈子^2,3、熊谷 慎也¹、三宅 秀人² (1. 名城大学、2. 三重大学、3. 大阪大学)