[11] ナノ・マイクロマテリアル

[11-54] 酸化銀分解反応に基づく金属-シリコン基板間の低温接合プロセスの開発

一般講演

^○川端玲, 松田朋己, 小椋智, 佐野智一, 廣瀬明夫 (大阪大学大学院工学研究科)

キーワード：シリコン、銀、酸化銀、接合、焼結