湿式素材プロセッシング

[PY-32] 水溶液からのZnTe系化合物半導体の電析

^○山川海航¹, 洲河優作¹, 大貝猛¹ (1.長崎大学)

キーワード：電析, 亜鉛, 半導体

Znリッチ層とTeリッチ層のZn/Te系2層めっき膜を作製し、拡散熱処理後、ZnTe系化合物半導体相を得た。熱処理前の電析膜試料のX線回折プロファイルからはZnTeについては明確なピークが得られなかったが、Te(101)に対応する回折ピーク、および、Zn(002)等に対応する複数の回折ピークが得られた。一方、熱処理後の電析膜試料のX線回折プロファイルからは、ZnTe(111)に対応する鋭い回折ピークが得られた。拡散熱処理後の電析ZnTe試料のバンドギャップを測定した結果、理論値に近い約2.2eVであることが判明した。