湿式素材プロセッシング

[PY-54] 水溶液中におけるガリウムの電気化学的挙動

^○三橋拓明¹, 黒田健介², 興戸正純² (1.名古屋大学大学院, 2.未来材料・システム研究所)

キーワード：ガリウム、電気化学、電析

ガリウム化合物は半導体素子や太陽電池、発光ダイオードの基板等、将来的に多様な応用が期待される金属材料である。特に、青色LED用材料の窒化ガリウムはシリコンに比べてバンドギャップや絶縁破壊電圧が大きいといった物理的特性を持っている。窒化ガリウムの主な作製法は、Naフラックス法やMOVPE法が挙げられるが、水溶液中での電析法の報告例は無く、開発には未だ至っていないのが現状である。電析法の長所としては、安全性が高い低コストプロセスであることや、大面積及び任意形状の試料の作製が可能であること、電位や溶液組成といった条件により、生成物や組成の制御が可能であること等が挙げられる。 そこで、本研究では、水溶液中における窒化ガリウムの電析を試みるための基礎研究として、水溶液中におけるガリウムの電気学的挙動の調査を行った。