新材料

[PY-71] 有機シリカ系薄膜の被覆による非晶質ポリマーの有機溶剤耐性向上

^○神澤大基, 米田真, 宇都宮徹, 一井崇, 杉村博之 (京都大学大学院工学研究科)

キーワード：シリカ系薄膜、ポリオレフィン、有機溶剤耐性向上

Cyclo-Olefin Polymer (COP)は優れた光学的特性を有しており，ガラスの代替材料として期待されている．そのため，光学的な検出機構などに用いられることのあるマイクロ流路デバイスへの応用に適している．しかし，COPはTolueneやEtherなどの多くの有機溶剤への耐性がないため，COP製マイクロ流路デバイスに用いられる溶剤が限定されてしまう．本研究はCOPをシリカ系薄膜で被覆することでCOPの有機溶剤耐性を向上することが目的である．本研究では，反応不活性なCOPプレート(ZEONEX®480R)に波長172 nmの真空紫外(VUV)光を照射し，表面に親水性官能基を導入した．その後CVDによって表面に有機シリカ系薄膜を成膜し，再びVUV光を照射することでよりガラスに近い組成を持つシリカ系薄膜を得た．このようにして薄膜を被覆したCOPプレートに種々の有機溶剤を接液し，溶剤の浸透を調査した．