MRM2023/IUMRS-ICA2023

講演情報

Poster Session

D. Electronic » [D-1] Synthesis, Processing and Characterization of Nanoscale and Functional Oxide Films -7th E-MRS & MRS-J Bilateral Symposium

[D1-P304] Poster 304

2023年12月13日(水) 18:30 〜 20:30 Poster (Annex)

[D1-P304-08] Crystallinity improvement of zinc oxide thin films prepared by reactive high power pulsed magnetron sputtering

*Md. Suruz Mian1, Haruki Sato1, Shun Kondo1, Takeo Nakano1 (1. Seikei Univ. (Japan))

キーワード:Vanadium Dioxide, Zinc Oxide, HiPIMS

要旨・抄録、PDFの閲覧には参加者用アカウントでのログインが必要です。参加者ログイン後に閲覧・ダウンロードできます。
» 参加者用ログイン