Selective growth of vanadium dioxide thin film by controlling discharge voltage in reactive sputtering

講演情報

Poster Session

D. Electronic » [D-1] Synthesis, Processing and Characterization of Nanoscale and Functional Oxide Films -7th E-MRS & MRS-J Bilateral Symposium

[D1-P304] Poster 304

2023年12月13日(水) 18:30 〜 20:30 Poster (Annex)

*Haruki Sato¹, Yuka Kurosaki¹, Kosuke Kasugai¹, Md. Suruz Mian¹, Takeo Nakano¹ (1. Seikei Univ. (Japan))

キーワード：Vanadium dioxide (VO2), Discharge voltage, Smart windows

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