MRM2023/IUMRS-ICA2023

講演情報

Oral Session

G. Process » [G-1] Advanced Plasma Processing in the New Era

[G1-O403] Oral 403

2023年12月14日(木) 16:30 〜 18:30 Session 13 (Room I)

Chair: R. Mohan Sankaran (University of Illinois Urbana-Champaign)

18:15 〜 18:30

[G1-O403-06] Synthesis of Si/Sn composite nanowires by using plasma sputtering process for Li-ion battery anode

*Giichiro Uchida1, Kodai Masumoto1 (1. Meijo Univ. (Japan))

キーワード:nanowire, low temperature plasma, Li ion battery

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