MRM2023/IUMRS-ICA2023

講演情報

Poster Session

G. Process » [G-1] Advanced Plasma Processing in the New Era

[G1-P501] Poster 501

2023年12月15日(金) 10:00 〜 12:00 Poster (Annex)

[G1-P501-03] Raman mapping of DLC films using the HF-HiPIMS method to investigate the sp2 cluster model

*Hiroyuki Fukue1, Tatsuyuki Nakatani1, Tadayuki Okano2, Masahide Kuroiwa2, Shinsuke Kunitsugu3, Susumu Takabayashi4, Hiroki Oota5, Ken Yonezawa5,1 (1. Okayama Univ. of Sci. (Japan), 2. Tokyo Electronics Co., Ltd. (Japan), 3. Ind. Technol. Cent. Okayama Pref. (Japan), 4. National Inst. Technol., Ariake College (Japan), 5. Kenix Corporation (Japan))

キーワード:mapping, Raman spectroscopy, DLC, HiPIMS, plasma process

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