[21P] ポスター1

[21P-132] 種々のポリマー膜に対する水プラズマアッシングプロセスの分光学的検討

*島田 大伸¹、鈴木 宏明¹、石島 達夫¹、田中 康規¹、上杉 喜彦¹、高森 司真²、西山 聖²、堀邊 英夫² (1. 金沢大理工、2. 大阪市大工)