スケジュール 0 13:30 〜 15:30 [21P-70] RF駆動型マグネトロンスパッタ型イオン源から引き出される金属イオンビームへのメモリー効果 *小間 浩嗣1、吉岡 健太郎2、剣持 貴弘3、和田 元2 (1. 同志社大理工、2. 同志社大院理工、3. 同志社大生命医科学) 抄録パスワード認証抄録の閲覧にはパスワードが必要です。パスワードを入力して認証してください。 パスワード 認証