講演情報

ポスター発表

[21P] ポスター1

2017年11月21日(火) 13:30 〜 15:30 ポスター会場 (1F 展示場)

13:30 〜 15:30

[21P-77] 極端小口径における低圧力下の高周波プラズマ生成

*山瀬智也¹、堀田大貴¹、Satpathy Dibyesh²、桑原大介¹、篠原俊二郎¹ (1. 農工大工、2. KIIT)

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