[23Ga] セッション17 材料・ナノテク

[23Ga-07] 窒素プラズマ照射による2セレン化タングステン電界効果トランジスタの電気特性変化

*安藤 淳¹、入沢 寿史¹、岡田 直也¹、宮脇 淳¹、久保 利隆¹、森 貴洋¹、遠藤 和弘²、遠藤 和彦¹ (1. 産総研、2. 金工大)