反応性CVA法で成膜したta-C:H膜のトライボロジー特性

講演情報

ポスター発表

2017年11月24日(金) 14:00 〜 16:00 ポスター会場 (1F 展示場)

14:00 〜 16:00

*Mohamad Muhammad Aminurul Helmy¹、國次真輔²、中谷達行¹、清水一郎¹、平井広治³、橋本輝夫³ (1. 岡山理大、2. 岡山工技セ、3. ティーアールエス)

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