Plasma Conference 2017

講演情報

ポスター発表

[24P] ポスター4

2017年11月24日(金) 14:00 〜 16:00 ポスター会場 (1F 展示場)

14:00 〜 16:00

[24P-31] HiPIMS法を用いたDLC成膜における反応性ガスによる放電特性への影響

*黒岩 雅英1、岡野 忠之1、中谷 達行2、福江 紘幸2 (1. 東京電子(株)、2. 岡山理科大学)

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