スケジュール 1 14:00 〜 16:00 [24P-33] 低インダクタンスアンテナによる誘導結合型プラズマと直流プラズマスパッタリングのハイブリッド成膜による樹脂基材上へのダイヤモンドライクカーボン膜の形成 *國次 真輔1、中西 亮太1、中谷 達行2 (1. 岡山県工業技術センター、2. 岡山理科大) 抄録パスワード認証抄録の閲覧にはパスワードが必要です。パスワードを入力して認証してください。 パスワード 認証
