講演情報

ポスター発表

[24P] ポスター4

2017年11月24日(金) 14:00 〜 16:00 ポスター会場 (1F 展示場)

14:00 〜 16:00

[24P-53] 大気圧マイクロ波プラズマCVDによるSiO₂膜形成及び膜評価

*石川翔太¹、鈴木陽香¹、豊田浩孝¹ (1. 名大工)

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