ポスターセッション2

[P-194T] 表面部分窒化無酸素無炭素Ti蒸着膜の排気速度測定と放射光ビームラインへの応用

*菊地 貴司¹、片岡 竜馬¹、田中 宏和¹、若林 大佑^1,2、大東 琢治^1,2、仁谷 浩明^1,2、上園 波輝³、櫻井 岳暁³、間瀬 一彦^1,2 (1. KEK物構研PF, 2. 総研大, 3. 筑波大)