SNW2023 in 2023 Symposium on VLSI Technology and Circuits

講演情報

Oral Session

Si Nanoelectronics & Device Physics

[5] Advanced CMOS Technology

2023年6月11日(日) 14:30 〜 16:30 Shunjyu I (Shunjyu I)

Chair:Masaharu Kobayashi(Univ. of Tokyo), Peide Ye(Purdue Univ)

15:30 〜 15:50

[5-04] Thermal and Performance Analysis of Back-side Power Delivery Network beyond 3nm Technology Node

*Haoyu Zhang1, Linlin Cai1, Yutao Chen1, Jianwen Lin1, Wangyong Chen 1 (1. Sun Yat-Sen Univ. (China))

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