[A-4-1] 弾性体と液状媒質の変形を利用した発振型振動センサ
キーワード：発振、振動、センサ
振動センサや加速度センサは、各種機器の健全性診断に使われ、安全・安心社会の実現に向けて今後必要性が増してくると考えられる。一般的な振動センサは、圧電体の変形により電圧を出力するタイプであり、大きな出力を得るには圧電セラミックのような硬い固体を大きく変形させる必要がある。ここでは、弾性体と液状媒質の変形を利用した振動センサに示す。
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