[B-4] 環境電磁工学

[B-4-45] SEMノイズ対策効率化に向けた電子ビームサイズ変動評価技術開発

^○岩塚崇泰¹, 土肥英登², 佐々木智世², 李ウェン¹, 森渉² (1.日立, 2.日立ハイテク)

この講演は本会「学術奨励賞受賞候補者」の資格対象です。

キーワード：SEM、ビームサイズ変動、環境ノイズ

SEMは電子顕微鏡の一種であり、電子ビームを使い撮像を行う。ビーム軌道に電気ノイズが侵入するとビームが悪影響を受け画質が悪化する。逆に画質の改善には、電子ビームの状態を診断しノイズの伝搬経路を特定し対策する方法が有効である。著者らはSEMのノイズ対策効率化を目的として、電子ビームのサイズ変動を計測する技術を開発した。試料端の輝度分布頂点部において、ビームのサイズ変動が輝度の変動として検出されることに注目し、輝度分布頂点部の輝度の時間変化をモニタすることで周波数20Hz、半径変動量0.14nm相当のビームサイズ変動の検出に成功した。