[C-3/4-16] シリコンナイトライド導波路を用いた超広帯域モード合波器の設計
キーワード：ADC
近年，伝送容量拡大のための技術として，波長分割多重 (Wavelength Division Multiplexing: WDM) 伝送とモード分割多重 (Mode Division Multiplexing: MDM) 伝送を併用する通信方式が注目されている.WDMとMDMを併用する伝送システムを実現するためには広帯域に動作するモード合分波器が不可欠である．Si導波路を用いた非対称方向性結合器 (Asymmetric Directional Coupler: ADC) は設計が容易で小型であるため，モード合分波器として頻繁に使用されているが，比屈折率差が大きいことから波長依存性が大きく，広帯域化に限界がある．そこで本稿では，SiN導波路を用いた，ADC型モード合波器の設計を行う．ADCの広帯域設計手法を用いることで，波長1.30 µmから1.75 µmの範囲で98%以上の透過率となるモード合波器が実現可能であることを示す．
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