講演情報

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ショートオーラルセッション

[SO2] ショートオーラルセッション2

2022年6月9日(木) 15:15 〜 15:45 メイン会場 (現地(アネックスホール2F)+オンライン)

15:39 〜 15:40

[SO2-25] チョクラルスキー法を用いた単結晶Si引上中のボディ部における晶癖線検出法の研究

*久保田雄斗¹、栗原徹¹、西原雄太² (1. 高知工科大学、2. 株式会社エム・セテック)

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論文PDFは SSII2022 会期初日 (6/8) より閲覧可能です。