[C-3-2] Hydrogen-Robust Submicron IrOx/PZT/Ir Capacitors for Embedded Ferroelectric Memory

T. Sakoda, T. S. Moise, S. R. Summerfelt, L. Colombo, G. Xing, S. R. Gilbert, A. L. S. Loke, S. Ma, R. Kavari, L. A. Wills, J. Amano (1.Texas Instruments, 2.Agilent Technologies)

https://doi.org/10.7567/SSDM.2000.C-3-2