Mapping of Ni/SiN<sub>x</sub>/n-SiC Structure Using Scanning Internal Photoemission Microscopy

2018 International Conference on Solid State Devices and Materials

2018年9月9日〜 2018年9月13日
University of Tokyo

11:00 〜 13:30

^○K. Shiojima¹, T. Hashizume¹, M. Sato², M.B. Takeyama² (1.Univ. of Fukui (Japan), 2.Kitami Inst. of Tech. (Japan))