[29p-PB2-1~3] 13.4 配線技術

[29p-PB2-3] 二段階熱処理法により形成したNiシリサイドナノワイヤの抵抗率形状依存性 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○Jinhan Song¹，松本一輝¹，角嶋邦之²，アヘメト パールハット¹，片岡好則²，西山彰²，杉井信之²，筒井一生²，名取研二¹，服部健雄¹，岩井洋¹ (東工大フロンティア研¹，東工大総理工²)

キーワード：Nanowire