セッション情報

Tweet

一般セッション(ポスター講演)

08．プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング

[18p-PB6] 8.4 プラズマエッチング

2014年9月18日(木) 13:30 〜 15:30 PB6 (第2体育館)

ポスター掲示時間13:30～15:30(PB6会場)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

13:30 〜 15:30

[18p-PB6-1] CF4とArプラズマでエッチングしたAlGaN表面ダメージ

^○新部正人¹，川上烈生²，中野由崇³，向井孝志⁴，白濱達夫²，平井翔大¹ (兵庫県大高度研¹，徳島大院工²，中部大院工³，日亜化学⁴)