[18p-PB4-1~3] 8.2 プラズマ診断・計測

△ [18p-PB4-1] RFマグネトロンカーボンスパッタリングプラズマ中の準安定励起Ar原子の挙動

^○（M1）佐郷友亮¹，太田貴之¹，小田昭紀²，上坂裕之³ (名城大理工¹，千葉工大²，名大院工機械³)

キーワード：スパッタリング,プラズマ,ダイヤモンドライクカーボン