2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

14.半導体B(探索的材料・物性・デバイス) » 14.1 探索的材料物性

[19a-PB4-1~9] 14.1 探索的材料物性

2014年9月19日(金) 09:30 〜 11:30 PB4 (第2体育館)

ポスター掲示時間9:30~11:30(PB4会場)

09:30 〜 11:30

[19a-PB4-4] 真空蒸着法によるβ-FeSi2薄膜作製への蒸着材料の影響

小林治哉,綿引柚衣子,佐藤桂輔,中岡鑑一郎,原嘉昭 (茨城高専)

キーワード:半導体,シリサイド,FeSi2