2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.8 結晶評価,不純物・結晶欠陥

[20a-A20-1~15] 15.8 結晶評価,不純物・結晶欠陥

2014年9月20日(土) 09:00 〜 13:00 A20 (E312)

10:45 〜 11:00

[20a-A20-8] Si中の複空孔形成における空孔拡散の原子描像

神山栄治,末岡浩治 (岡山県大情報工)

キーワード:シリコン,空孔