[14p-4E-1~21] 7.6 イオンビーム一般

[14p-4E-6] ClF₃中性クラスタービームによる斜めエッチング

〇瀬木 利夫¹、山本 洋揮²、古澤 孝弘²、吉野 裕³、妹尾 武彦³、小池 国彦³、青木 学聡¹、松尾 二郎¹ (1.京大院工、2.阪大産研、3.岩谷産業)

キーワード：クラスター、中性ビーム