[14p-PA13-1~21] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[14p-PA13-17] 透過電子顕微鏡によるNbドープTiO₂透明導電膜の膜内構造観察

〇小川 大輔¹、中尾 祥一郎^2,3、森河 和雄¹、廣瀬 靖^2,3,4、長谷川 哲也^2,3,4 (1.都産技研、2.KAST、3.CREST、4.東大院理)

キーワード：透明導電膜、透過電子顕微鏡、酸化物エレクトロニクス

NbドープTiO₂（TNO）透明導電膜の実用化に取り組んでいる。スパッタ法で作成したTNO膜の膜内構造のプロセス圧力（P_w）依存性を、透過電子顕微鏡による断面観察で評価した。その結果、P_wが低いほど、膜密度の揺らぎの小さい均質な膜となることがわかった。注目すべき事に0.50 Paで作製したスパッタ膜は、パルセレーザー堆積法で作成した膜と同等の低い抵抗率と高い移動度とを示した。膜内構造と輸送特性との相関の詳細は当日報告する。