[16a-2U-1~12] 6.6 プローブ顕微鏡

[16a-2U-1] ３次元スペクトル-原子間力超音波顕微鏡による表面下構造の可視化

〇木村 邦子¹、小林 圭²、八尾 惇¹、山田 啓文¹ (1.京大院工、2.京大白眉セ)

キーワード：走査型プローブ顕微鏡、原子間力超音波顕微鏡、表面下

我々はこれまでに原子間力超音波顕微鏡(AFAM)およびヘテロダイン力顕微鏡(HFM)を用いてポリマーの表面下900 nmに埋もれたAuナノ粒子（直径：50 nm）の可視化に成功している。しかし、上記手法で得られるのは接触共振付近の単一周波数の情報のみであるため、可視化の要因特定は難しい。本発表では、探針走査領域の全点において実時間で粘弾性スペクトルを取得し、それを基により深い議論を行う。