15:00 〜 15:15 [13p-B13-6] FinFET寄生抵抗ばらつきの解析:エクステンションドーピング条件の影響 〇松川 貴1、森 貴洋1、森田 行則1、大塚 慎太郎1、柳 永勛1、大内 真一1、更田 裕司1、右田 真司1、昌原 明植1 (1.産総研)