[19p-H137-1~17] 7.1 X線技術

[19p-H137-5] 80～200eV域定偏角分光器用酸化物膜付加高回折効率回折格子の設計

〇小池 雅人¹、長野 哲也²、笹井 浩行²、浮田 龍一² (1.原子力機構量子ビーム、2.島津デバイス)

キーワード：回折格子、軟X線、回折効率

材料内の微量Bに関する研究においては軟X線域のB-K発光(183eV) 、吸収(188 eV) を用いた分光研究が不可欠である。本報告では放射光ビームラインでよく用いられている不等間隔溝平面回折格子分光器などの定偏角分光器の金属膜表面を持つラミナー型回折格子にダイヤモンドライクカーボン(DLC)やTiO₂、CeO₂膜を積層しこの領域で回折効率の増加が得られることを数値計算により示した。