[21a-W351-1~10] 12.3 機能材料・萌芽的デバイス

[21a-W351-3] Si₃N₄ / EOポリマーMZI変調器

〇佐藤 洸¹、石野 雅章¹、山本 和広^1,2、横山 士吉^1,2 (1.九大総理工、2.九大先導研)

キーワード：電気光学効果、変調器

近年、光変調器のオンチップ化を目指し、シリコンなどの高屈折材料と電気光学(EO)ポリマーを融合した光導波路変調器が盛んに研究されている。本発表では高屈折材料のひとつである窒化シリコン(Si₃N₄)とEOポリマーを用いたMach-Zhneder型変調器を作製した。光変調特性の評価をおこなった結果、半波長電圧は波長1550 nmで4.4 Vであった。