14:00 〜 14:15 [6p-C24-2] ファブリ・ペロー干渉計によるマイクロ片持ち梁熱振動の計測 〇辻家 祐介1、日野 史也2、丸林 真也2、河村 良行1,2 (1.福岡工大院工、2.福岡工大工)