18:30 〜 18:45 [7p-A301-20] 水素雰囲気異方性熱エッチング(HEATE)法によって作製したInGaN/GaN極微細量子井戸ナノピラーのフォトルミネッセンス評価 〇生江 祐介1、松岡 明裕1、石嶋 駿1、小川 航平1、大江 優輝1、川崎 祐生1、菊池 昭彦1,2 (1.上智大理工、2.上智大ナノテクセンター)