2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

大野 裕

座長等

2017年9月6日(水) 13:45 〜 17:00 A503 (503)

  • 一般セッション(口頭講演)
  • | 15 結晶工学
  • | 15.7 結晶評価,不純物・結晶欠陥

大野 裕(東北大)、仮屋崎 弘昭(グローバルウェーハズ・ジャパン)、中川 聰子(グローバルウェーハズ・ジャパン)