09:30 〜 09:45 [15a-419-3] スパッタ堆積ZnO薄膜の大気暴露による電気的特性の経時変化の評価 〇高橋 直人1、張 捷生1、齊藤 正1、佐藤 伸吾1、大村 泰久1 (1.関西大学院)