2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

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[14p-P4-1~78] 17 ナノカーボン(ポスター)

2017年3月14日(火) 13:30 〜 15:30 P4 (展示ホールB)

13:30 〜 15:30

[14p-P4-61] c 面サファイア基板上ReS2薄膜のエピタキシャル成長

浦上 法之1,2、奥田 哲也1、橋本 佳男1,2 (1.信大工、2.信大カーボン研)

キーワード:遷移金属ダイカルコゲナイド、ReS2

レニウム(Re)膜を蒸着したc面サファイア基板を硫黄(S)雰囲気で加熱することでReS2を作製した。X線回折により、[0001]方向に配向したReS2単結晶薄膜が作製されていることが示唆された。Raman分光測定により、ReS2の面内方向(Eg)および積層方向(Ag)の振動を示す輝線がそれぞれ観測された。それらの半値全幅は3cm-1程度と非常に狭く高品質化に成功したことを示唆している。以上より、c 面サファイア基板上へ ReS2 単結晶薄膜のエピタキシャル成長に成功した。