[15a-502-1~12] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[15a-502-10] Ar/N₂混合スパッタで堆積したアモルファスMg添加CuCrO₂薄膜の固相成長

〇保坂 直寿¹、千葉 博^1,2、川島 知之¹、鷲尾 勝由¹ (1.東北大院工、2.学振特別研究員)

キーワード：デラフォサイト、固相成長、RFマグネトロンスパッタ