16:00 〜 18:00 [19p-PB7-5] 極薄AlN中間層を用いたエピタキシャルグラフェン上Si薄膜成長 〇(M2)寺井 汰至1、石丸 大樹1、鎌田 裕太1、竹内 智哉1、橋本 明弘1 (1.福井大工)