15:45 〜 16:00 △ [18p-235-10] パターン加工したカーボンドープシリコンにおける歪緩和の評価 〇吉岡 和俊1、横川 凌1,2、澤本 直美1、小椋 厚志1 (1.明治大学、2.学振特別研究員DC)