[18a-231B-1~8] 1.6 超音波

[18a-231B-6] ピコ秒超音波法を用いたα及びβ型タングステンナノ薄膜の弾性率計測および重水素照射による機械特性の変化

〇長久保 白¹、土生 善昭¹、Lee Heun Tae¹、上田 良夫¹、荻 博次¹ (1.阪大工)

キーワード：タングステン、弾性率、フェムト秒パルスレーザー

タングステンナノ薄膜の構造と機械特性は様々な分野において重要な役割を担っているが、成膜条件によって構造が大きく変わることが知られている。しかしその機械特性などは未知のままである。そこで本研究ではピコ秒超音波法を用いてタングステンナノ薄膜の弾性率計測を行い、更に重水素照射による機械特性の変化を評価した。