[18p-212B-1~11] 【CS.8】 7.4 量子ビーム界面構造計測, 9.5 新機能材料・新物性のコードシェアセッション

[18p-212B-11] 中性子による埋もれた薄膜不均一界面のビジュアライゼーション

〇桜井 健次¹ (1.物材機構)

キーワード：中性子反射率、イメージング、空間分解能

薄膜・多層膜の機能は界面の不均一さの影響を受けることが多く、その非破壊的な高信頼性の観察・評価技術の開発が求められている。本講演では、薄膜界面に敏感な中性子反射率法に、新たに空間分解能を付与することで埋もれた界面を画像化する新技術について報告する。