09:00 〜 09:15 [18a-G203-1] [講演奨励賞受賞記念講演] チャージポンピングEDMR法によるシリコンMOS界面の欠陥検出 〇堀 匡寛1、土屋 敏章1、小野 行徳1 (1.静大電研)