11:15 〜 11:30 [18a-E201-8] 非晶質In-Ga-Zn-O TFTのアニール条件が及ぼすTFT特性、信頼性への影響 〇清水 耕作1、小田倉 卓也1、森本 俊夫2、中山 徳行2、白石 真菜2 (1.日本大学、2.住友金属鉱山(株))