[9a-Z04-1~12] 13.8 光物性・発光デバイス

[9a-Z04-5] 【注目講演】フォトニック結晶を利用した中赤外面発光型量子カスケードレーザ試作と評価-2

〇橋本 玲¹、角野 努¹、金子 桂¹、斎藤 真司¹、姚 遠昭²、池田 直樹²、黒田 隆²、迫田 和彰² (1.東芝生産技術センター、2.物質・材料研究機構)

キーワード：量子カスケードレーザ, 面発光素子, フォトニック結晶

量子カスケードレーザ(QCL)は赤外域の小型光源として、様々な応用が期待されている。量産性に優れる面発光型QCLの実現が望まれているが、QCLの発光はTM偏光しているため一般的なVCSEL構造の適用が困難である。本研究ではフォトニック結晶を用いて面方向へQCL光を取り出す面発光型QCLの開発を進めており、素子構造の詳細検討によって狭いビーム射出角度でのレーザ発振を確認したので報告する。